一步法轉(zhuǎn)移CVD石墨烯薄膜
發(fā)布日期：2022-08-19 來源： 瀏覽次數(shù)：103
石墨烯作為一種新型戰(zhàn)略性重要材料，可應(yīng)用于科研、芯片電路電子、新能源、新材料、生物技術(shù)等諸多重要行業(yè)，特別是科研級別的石墨烯薄膜，需要極穩(wěn)定極高品質(zhì)的石墨烯，這就要求我們能從常見的基底石墨烯的基礎(chǔ)上，刻蝕掉銅基底得到石墨烯/保護層薄膜，然后再將石墨烯和起保護作用的薄膜轉(zhuǎn)移至“懸空基底”上，用戶拿到產(chǎn)品后只需將產(chǎn)品在去離子水中輕輕釋放就可得到可直接轉(zhuǎn)移至多種基底的一步法轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜。
本文介紹一步法轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜就以“泡-取”式石墨烯為基礎(chǔ)，以微晶科技濕法轉(zhuǎn)移方法為例，介紹使用離子蝕刻劑(如過硫酸銨水溶液)來溶解生長基底，然后將石墨烯從液體清潔溶劑(通常是去離子水)轉(zhuǎn)移到目標襯底而不干燥。各種支撐層/基底層/保護層用于實現(xiàn)石墨烯的清潔和無殘留轉(zhuǎn)移。濕法轉(zhuǎn)移，就是以微晶科技“泡-取”式石墨烯為基礎(chǔ)獲取一步法轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜的工藝，目前是較常見和較普及的轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜的方法，以自己轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜的工藝的成功率高、品質(zhì)穩(wěn)定、可靠，也是降低成本、廣泛推廣應(yīng)用的一個重要途徑；此方法還能較大限度地降低操作程序與數(shù)量，減少殘留物和對轉(zhuǎn)移的石墨烯薄膜的損壞。
石墨烯作為一種新型戰(zhàn)略性重要材料，可應(yīng)用于科研、芯片電路電子、新能源、新材料、生物技術(shù)等諸多重要行業(yè)，特別是科研級別的石墨烯薄膜，需要極穩(wěn)定極高品質(zhì)的石墨烯，這就要求我們能從常見的基底石墨烯的基礎(chǔ)上，刻蝕掉銅基底得到石墨烯/保護層薄膜，然后再將石墨烯和起保護作用的薄膜轉(zhuǎn)移至“懸空基底”上，用戶拿到產(chǎn)品后只需將產(chǎn)品在去離子水中輕輕釋放就可得到可直接轉(zhuǎn)移至多種基底的一步法轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜。
本文介紹一步法轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜就以“泡-取”式石墨烯為基礎(chǔ)，以微晶科技濕法轉(zhuǎn)移方法為例，介紹使用離子蝕刻劑(如過硫酸銨水溶液)來溶解生長基底，然后將石墨烯從液體清潔溶劑(通常是去離子水)轉(zhuǎn)移到目標襯底而不干燥。各種支撐層/基底層/保護層用于實現(xiàn)石墨烯的清潔和無殘留轉(zhuǎn)移。濕法轉(zhuǎn)移，就是以微晶科技“泡-取”式石墨烯為基礎(chǔ)獲取一步法轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜的工藝，目前是較常見和較普及的轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜的方法，以自己轉(zhuǎn)移石墨烯薄膜的工藝的成功率高、品質(zhì)穩(wěn)定、可靠，也是降低成本、廣泛推廣應(yīng)用的一個重要途徑；此方法還能較大限度地降低操作程序與數(shù)量，減少殘留物和對轉(zhuǎn)移的石墨烯薄膜的損壞。
